отходы ацетона, загрязненные фоторезистом при фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов
- Процесс
- Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов
- Производство
- Производство диодов, транзисторов и прочих полупроводниковых приборов, включая светоизлучающие диоды, пьезоэлектрические приборы и их части
- Форма БДО
- Жидкое
- Компоненты
Примечания, массовые доли и документ
Документ: Приказ Росприроднадзора от 22.05.2017 № 242