фильтры картриджные на основе полимерных волокон, загрязненные кремнием при очистке газов в производстве кремниевых полупроводниковых приборов
- Процесс
- Очистка газов в производстве кремниевых полупроводниковых приборов
- Производство
- Производство кремниевых полупроводниковых приборов
- Форма БДО
- изделия из нескольких материалов (52)
- Компоненты
Примечания, массовые доли и документ
Документ: Приказ Росприроднадзора от 04.10.2021 № 670