отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов
- Процесс
- Вакуумное напыление алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов
- Производство
- Производство кремниевых полупроводниковых приборов
- Форма БДО
- Прочие формы твердых веществ (29)
- Компоненты
Примечания, массовые доли и документ
Документ: Приказ Росприроднадзора от 04.10.2021 № 670